氟化物氣體應(yīng)用：二氟硅烷

  1.別名·英文名
    二氟二氫硅；Difluorosilane．
    2.用途
    含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。
    3.理化性質(zhì)
    分子量：    68.10
    熔點(diǎn)：    -122.0℃
    沸點(diǎn)(101.325kPa)：    -77.8℃
    氣體密度：    2.35kg/m3
    熔化熱：    6.148kJ/kg
    氣化熱：    292.092kJ/kg
    臨界溫度：    34℃
    蒸氣壓(-124.3℃)：    2.666kPa
           (-98.3℃)：    26.664 kPa
           (-87.8℃)：    53.329kPa
比熱容(氣體，25℃)：    749.443J/(kg·K)
    二氟硅烷在常溫常壓下為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。長(zhǎng)時(shí)間放置時(shí)緩慢分解，但比SiHF3分解速度慢。
    2SiH2F2→SiH4+SiF4
    在水或苛性蘇打的水溶液中水解產(chǎn)生氫氣。
    與乙醇、氨和胺反應(yīng)。
    參見六氟化二硅。